
* 공부하는데 큰 도움을 주신 공학 유튜버 남알남 님께 감사드립니다. :) 반도체에 생명을 불어넣어 소자의 기능을 하기 위해서는 전도도를 가지게 해야한다. 아래의 그림과 같이 P기판은 B, Al, Ga 등 3족 원소를 도핑해준 Si 기판을 뜻하고, N+(N well)는 기판에 5족원소들을 부분적으로 P(인)와 같은 물질을 도핑한 지역을 칭한다. 이렇듯 4족 원소인 Si등의 반도체에 불순물을 도핑해주는 공정은 크게 확산공정과 ion implantation (이온주입) 공정으로 나뉜다. 확산 공정은 주로 과거에 주로 사용되었는데 단점으로 unistropic하게 이온 주입이되고 표면에만 고농도의 불순물을 가지는 특성이 있어 현재에는 주로 사용하지 않는다. 따라서 Ion implantation이 주로 사용된다...
전공/반도체 공정&소자
2023. 5. 8. 18:01
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